詳情
產(chǎn)品描述:
1600片(125*125、156*156)/小時超大產(chǎn)能。采用第四代最新全自動配液、補液技術(shù),全面完善的防酸、防腐措施,保護(hù)到機(jī)器每一個角落。最新全自動補液技術(shù)。獨特的硅片干燥處理技術(shù),保證硅片干燥不留任何水痕。成熟的硅片干燥工藝,多種先進(jìn)技術(shù)集于一身。彩色大屏幕人機(jī)界面操作,方便參數(shù)設(shè)置及多工藝方式轉(zhuǎn)換。 高速移載機(jī)械手采用松下伺服程序控制,具有高速,防壓,自動歸正,四點 穩(wěn)定抓取,帶鉤抱籃等特點。