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適用范圍：晶圍切割後清洗、晶髓、精密電子器件，采用步進馬達，定位準確，速度快，人機界面、PLC自動控制系統(tǒng)，市水、Dl水、lPA清洗斡燥，控制樞輿整機一髓化，減少故障隱患，40KHz、68KHz、80KHz、120KHz不同頻率超聱波清洗工藝，過濾保護功能，抽風(fēng)系統(tǒng)。